下载一种超表面金属光栅增强吸收的雪崩光电探测器及设备的技术资料

文档序号:41357226

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本发明公开了一种超表面金属光栅增强吸收的雪崩光电探测器及设备,属于光通信技术领域。其中雪崩光电探测器包括表面正六边形金属光栅、底部反射金属,以及处于两层金属之间的GeSi雪崩光电二极管;表面正六边形金属光栅在入射光的激发下产生表面等离激元,...
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