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本申请涉及气化容器技术领域，尤其涉及一种用于储存固体颗粒的升华容器及高浓度蒸汽制备方法，包括，底部设置为弧形的本体；密封连接在本体上的上盖，上盖上设置有进气管和排气管；沿本体的轴向排列设置于本体内的多个储料盘，储料盘上连接有支撑柱和多个导气...
该专利属于常州容导精密装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州容导精密装备有限公司授权不得商用。

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