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基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器制造技术
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下载基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器的技术资料
文档序号:41353151
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本发明涉及传感器技术领域,尤其涉及基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器。包括无源谐振腔体和负阻电路,无源谐振腔体由第一介质基板、第二介质基板、第三介质基板和第四介质基板组成,第一介质基板位于第二介质基板的顶部,第二介质基板位于第三介...
该专利属于西南大学所有,仅供学习研究参考,未经过西南大学授权不得商用。
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