【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器，尤其涉及基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器。
技术介绍
1、气体浓度作为一项重要指标，影响着工业生产、环境安全、身体健康等方面，其检测技术已成为传感器领域的热点。对于挥发性有机化合物气体，由于其毒性高，长时间接触有机化合物气体将会对身体器官造成严重危害，甚至会带来致癌的风险。
2、另外，有机化合物气体对我们的生活环境也产生着巨大影响，比如气候变化、臭氧层的形成。因此开发能够检测有机化合物气体浓度的传感器是非常有必要的。
3、目前，已经报道了多种气体检测方法，比如光学检测方法、半导体金属氧化物检测方法、电阻式检测方法、导电聚合物检测方法以及微波检测方法。金属氧化物检测方法灵敏度高，但是其工作环境要求高温状态。导电聚合物检测方法虽然不要求高温状态，但其缺乏稳定性。微波检测方法由于其低成本，稳定响应，工作于常温等优势成为极具潜力的一种方法。基于微波技术的传感器已广泛应用于液体、固体、位移以及气体方面的测量，对于微波气体传感器，采用重入式谐振腔，可以高度集中电场，其腔体结构也为气体响应留出...
【技术保护点】
1.基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器，其特征在于，包括无源谐振腔体（1）和负阻电路（2），所述无源谐振腔体（1）由第一介质基板（11）、第二介质基板（12）、第三介质基板（13）和第四介质基板（14）组成，所述第一介质基板（11）位于第二介质基板（12）的顶部，第二介质基板（12）位于第三介质基板（13）的顶部，第三介质基板（13）位于第四介质基板（14）的顶部，所述第一介质基板（11）中均匀开设有多个第一金属通孔（111），所述第二介质基板（12）中均匀开设有多个第二金属通孔（121），所述第三介质基板（13）中均匀开设有多个第三金属通孔（131），所述...
【技术特征摘要】
1.基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器，其特征在于，包括无源谐振腔体（1）和负阻电路（2），所述无源谐振腔体（1）由第一介质基板（11）、第二介质基板（12）、第三介质基板（13）和第四介质基板（14）组成，所述第一介质基板（11）位于第二介质基板（12）的顶部，第二介质基板（12）位于第三介质基板（13）的顶部，第三介质基板（13）位于第四介质基板（14）的顶部，所述第一介质基板（11）中均匀开设有多个第一金属通孔（111），所述第二介质基板（12）中均匀开设有多个第二金属通孔（121），所述第三介质基板（13）中均匀开设有多个第三金属通孔（131），所述第四介质基板（14）中均匀开设有多个第四金属通孔（141）；
2.根据权利要求1所述的基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器，其特征在于，所述第一介质基板（11）的底部开设有第一矩形阶梯槽，所述第一矩形阶梯槽由第一矩形槽（113）和第二矩形槽（114）组成，所述第一介质基板（11）的内部开设有第一未金属孔（112），所述第一未金属孔（112）的内侧与第一矩形槽（113）连接。
3.根据权利要求1所述的基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器，其特征在于，所述第二介质基板（12）的顶部固定有第一矩形金属层（123），所述第二介质基板（12）的底部固定有第二介质基板底层金属（124），所述第三介质基板（13）的顶部固定有第三介质基板顶层金属（134），所述第三介质基板（13）的底部固定有第二矩形金属层（133）。
4.根据权利要求3所述的基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器，其特征在于，所述第二介质基板（12）的中心区域开设有矩形阵列的第五金属化通孔（122），所述第三介质基板（13）的中心区域开设有矩形阵列的第六金属化通孔（132），且第五金属化通孔（122）与第六金属化通孔（132）的大小与排列方式相同；
5.根据权利要求4所述的基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器，其特征在于，所述第六金属化通孔（132）的顶部与第三介质基板顶层金属（134）相连，所述第六金属化通孔（132）的底部与第二矩形金属层（133）...
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