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一种磷化铟多晶合成设备制造技术
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下载一种磷化铟多晶合成设备的技术资料
文档序号:41350892
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本技术涉及一种磷化铟多晶合成设备,包括外部保温层、红磷加热容器、磷蒸气限流元件、多晶合成容器以及磷蒸气回收元件。通过上下分层设置,将红磷加热容器置于炉体的下层,从而扩大红磷蒸发的表面积,实现在短时间内生成所需数量的磷蒸气。通过限流元件的作用...
该专利属于昆明理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过昆明理工大学授权不得商用。
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