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本技术提供一种用于晶圆卡盘清洁的清洁工具，包括清洁部及手持部，其中，清洁部包括相对设置的清洁面及第一连接面，清洁面与晶圆卡盘接触以清洁晶圆卡盘表面的待清洁污染物，手持部与清洁部固定连接以带动清洁部进行移动，手持部包括第二连接面、侧面及端面，...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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