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本技术公开了一种真空环境下耐高温并含氮化物涂层的输气装置，包括固定板，所述固定板外表面的一侧安装有真空泵，所述真空泵的下方设置有进气管，所述固定板外表面的另一侧安装有外套管，所述外套管的前端面和后端面均匀设置有若干个通孔A，所述外套管外表面...
该专利属于常州硅润新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州硅润新材料科技有限公司授权不得商用。

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