温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种滤波器及其制备方法，该制备方法包括：提供复合晶圆；电极设置于复合层远离晶圆衬底一侧；复合晶圆包括切割区以及元件设置区；元件设置区设置有电极；在切割区制备凹槽；凹槽贯穿复合层和部分晶圆衬底；在凹槽内制备绝缘结构；绝缘结构包括覆...
该专利属于苏州科阳半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科阳半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。