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压力敏感元件及其制作方法技术
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文档序号:41344897
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一种压力敏感元件的制作方法,其包括步骤:提供一金属弹性膜片,在其外侧表面通过喷印形成喷印层;将喷印层进行第一次烧结并冷却,得到玻璃化介质层;将应变片贴放于玻璃化介质层表面;将玻璃化介质层进行第二次烧结并冷却。由该方法得到的压力敏感元件,能够...
该专利属于武汉飞恩微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉飞恩微电子有限公司授权不得商用。
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