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本技术公开了一种智能芯片制造用集成电路装置，属于智能芯片制造技术领域，包括底板，所述底板上安装有传送带，所述底板的顶部安装有机械手，所述传送带的两侧设置有安装至底板上的两个直角条，两个所述直角条之间设置有两个挡板，两个所述挡板相对的一侧均设...
该专利属于诗科（浙江）实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诗科（浙江）实业有限公司授权不得商用。

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