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提供一种用于供给化学液体的单元以及利用所述单元处理衬底的装置和方法。预湿喷嘴、光致抗蚀剂喷嘴和边珠去除喷嘴被安装在单个喷嘴体上。因此与各个喷嘴被安装在各自喷嘴臂上的情况相比，能够节省设备安装空间，由此能够更好地利用用于安装设备的空间。...
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