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一种滤波器晶圆级封装结构及其封装方法技术
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文档序号:41340204
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本发明公开了一种滤波器晶圆级封装结构及其封装方法,封装结构包括晶圆,晶圆上包括至少一个电极和至少一个功能区,每一个独立的功能区的表面均包覆设置有金属保护层,每一个金属保护层上均开设有至少一个释放孔,金属保护层和功能区之间存在空腔区域,晶圆上...
该专利属于苏州科阳半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州科阳半导体有限公司授权不得商用。
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