下载基于碳化硅片上集成的偏振分束旋转器的技术资料

文档序号:41339277

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于碳化硅片上集成的偏振分束旋转器,包括:衬底以及依次设置于其上的掩埋氧化硅层、碳化硅层和设置于碳化硅层上的能够同时传播TE模和TM模的硅波导,该硅波导包括:一个绝热锥度结构和一个非对称定向耦合器,其中:绝热锥度结构在输入端为单模结构,...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。