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本发明提供模具的凹凸随动性良好，且热处理时的膜厚减少小，可以得到良好形状的抗蚀图案的感光性组合物。在１分子中至少含有０．０１～９９．９９质量％的以下的聚合性单体（Ａ）、０～９８质量％的１官能以上的聚合性单体（Ｂ）（除相当于聚合性单体（Ａ）以...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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