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本发明公开一种硅基光波导边缘耦合结构，包括：分束器以及设置于所述分束器输出侧的至少两个硅波导；所述分束器为基于悬臂梁结构的二氧化硅分束器，所述分束器将输入光分路后再耦合进各个所述硅波导中。本申请利用基于悬臂梁结构的二氧化硅分束器实现入射光的...
该专利属于NANO科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过NANO科技（北京）有限公司授权不得商用。

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