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本发明提供了一种小尺寸微冲击阵列阈值开关及其制备方法。本发明的微冲击阵列阈值开关包括：衬底层、结构层和顶帽层，其中结构层设计了多个不同量程的开关，且每种开关的动电极结构相互独立，闭合状态互不影响，多个开关动电极通过结构层的边框连在一起，因此...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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