一种小尺寸微冲击阵列阈值开关及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种小尺寸微冲击阵列阈值开关及其制备方法。本发明专利技术的微冲击阵列阈值开关包括：衬底层、结构层和顶帽层，其中结构层设计了多个不同量程的开关，且每种开关的动电极结构相互独立，闭合状态互不影响，多个开关动电极通过结构层的边框连在一起，因此可共用一个接口进行动电极引出，同时，在开关纵、横方向上都设计了限位结构，软限位和硬限位结构会先后起到过载保护的作用。阵列阈值开关结构中分别设计了纵向和横向限位，防止了因加速度过大造成结构破坏而失效。与传统的微冲击开关相比，含有多个不同量程的开关，对应多个触发阈值，且制作工艺简单，使制作出的阵列阈值开关具有多阈值触发、尺寸小、抗过载能力强等特点。

【技术实现步骤摘要】

：本专利技术属于微机械加工，涉及一种小尺寸微冲击阵列阈值开关及其制备方法。

技术介绍

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技术介绍
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1、惯性开关作为最早应用mems技术制作的器件之一，具有小型化、集成化、低成本、高性能、可批量生产等优点，已经在军事、航空航天、汽车电子及消费电子等领域广泛应用。在军事领域中引信是武器系统里一个重要的组成部分，而惯性开关是引信系统中的关键器件，它的作用是识别碰击目标信号，若超过惯性开关的导通阈值，开关导通便接通起爆电路引爆弹药。引信要识别目标，就需要惯性开关能够区分弹丸撞击不同性质目标时的加速度，即惯性开关要有多个阈值。传统惯性开关采用机械结构，存在阈值单一、体积大、大着角响应可靠性低、响应时间长等缺点，采用mems技术制造的阵列阈值惯性开关，开关不仅体积小而且能够区分不同加速度，适应了引信微型化、灵巧化、智能化的发展庭势，具有良好的应用前景。

技术实现思路

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技术实现思路
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1、本专利技术的目的是提供一种小尺寸微冲击阵列阈值开关及其制备方法，包括衬底层、结构层和顶帽层，所述衬底层包本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种小尺寸微冲击阵列阈值开关，包括衬底层、结构层和顶帽层，所述衬底层包含多个电极引出接口，其中包含一个动电极引出接口和m个不同阈值开关的定电极引出接口；所述结构层包含m个阈值开关的动电极结构、边框和应力隔离槽；所述顶帽层位于结构层的上方；

2.根据权利要求1所述的一种小尺寸微冲击阵列阈值开关，其特征在于，所述的软限位结构由多个单端悬臂梁组成，且与质量块成轴对称分布，每个单端悬臂梁端头均有个凸点，所述凸点的形状可为半圆形、椭圆形或多边形。

3.根据权利要求1所述的一种小尺寸微冲击阵列阈值开关，其特征在于，所述的硬限位结构是与质量块边缘平行的L形或是与质量块边缘垂...

【技术特征摘要】

1.一种小尺寸微冲击阵列阈值开关，包括衬底层、结构层和顶帽层，所述衬底层包含多个电极引出接口，其中包含一个动电极引出接口和m个不同阈值开关的定电极引出接口；所述结构层包含m个阈值开关的动电极结构、边框和应力隔离槽；所述顶帽层位于结构层的上方；

2.根据权利要求1所述的一种小尺寸微冲击阵列阈值开关，其特征在于，所述的软限位结构由多个单端悬臂梁组成，且与质量块成轴对称分布，每个单端悬臂梁端头均有个凸点，所述凸点的形状可为半圆形、椭圆形或多边形。

3.根据权利要求1所述的一种小尺寸微冲击阵列阈值开关，其特征在于，所述的硬限位结构是与质量块边缘平行的l形或是与质量块边缘垂直或相交的i形。

4.根据权利要求1所述的一种小尺寸微冲击阵列阈值开关，其特征在于，所述的每种阈值开关闭合状态相互独立，互不影响，且彼此之间量程不同。

5.根据权利要求1所述的一种小尺寸微冲击阵列阈...

【专利技术属性】
技术研发人员：张威，冯艳露，李宋，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：