下载一种过滤电弧离子镀膜机中离子束的控制装置及方法的技术资料

文档序号:41336009

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本发明提供一种过滤电弧离子镀膜机中离子束的控制装置及方法,所述过滤电弧离子镀膜机包括依次密封连接的放电室、磁过滤管和真空室,磁过滤管是由导向管及在导向管外壁上绕制的线圈构成,包括由连接管和第一线圈组成的聚焦透镜和扫描透镜;连接管的入口与导向...
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