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本发明提供一种为了进一步提高化学放大型的抗蚀剂组合物的灵敏度而利用的具有酸增殖功能的化合物及使用该化合物的抗蚀剂组合物。该化合物是由式（Ⅰ）或（Ⅰ’）表示的化合物。（式（Ⅰ）中，Ｚ↑［１］及Ｚ↑［２］分别独立地表示氢原子、Ｃ１～Ｃ１２的烷基...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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