温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于晶圆电镀技术领域，尤其是一种晶圆电镀真空保湿用夹持机械手，包括晶圆真空湿润时进行支撑的底座，底座的顶部固定安装有防溅罩，防溅罩的上方设置有真空盖板，真空盖板的中心上方通过支架固定连接有夹块座，夹块座的上方设置有水平移动机构，水平移...
该专利属于苏州智程半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州智程半导体科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。