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本发明提供一种激光干涉仪，在抑制伴随着返回光的激光振荡的不稳定化的同时，能够抑制伴随着非调制分量的S/N比的降低。一种激光干涉仪具备：射出激光的激光光源；光调制器，具备通过驱动信号振动的振动元件以及设置于所述振动元件的光反射面，通过使所述激...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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