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本发明公开了一种通过磷掺杂调控非晶硅薄膜折射率及电导率的方法，属于及光伏电池关键原件生产技术领域，具体为，步骤1.提供一基底，进行表面处理和清洗；步骤2.在特定温度和功率条件下，进行磷掺杂非晶硅薄膜的沉积；步骤3.通过精确控制磷掺杂浓度，实...
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