下载封装结构及其形成方法的技术资料

文档序号:41327030

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本申请提供了一种封装结构及其形成方法,包括:提供一帽晶圆;形成至少一键合结构于帽晶圆的下表面;提供一功能晶圆,功能晶圆上表面具有钝化层;将帽晶圆通过键合结构键合于所述钝化层上,以形成密封腔室,所述帽晶圆、所述功能晶圆以及所述密封腔室构成所述...
该专利属于江阴长电先进封装有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴长电先进封装有限公司授权不得商用。

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