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半导体存储器及其形成方法技术
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文档序号:41324231
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本公开提供一种半导体存储器及其形成方法,能降低位线之间的寄生电容,提升半导体存储器的性能。半导体存储器的形成方法包括如下步骤:提供半导体衬底,在所述半导体衬底内形成间隔排列的多个位线接触部的步骤;在所述半导体衬底上形成与多个所述位线接触部分...
该专利属于东芯半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东芯半导体股份有限公司授权不得商用。
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