下载过滤装置和晶体生长设备的技术资料

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本技术涉及晶体生长技术领域,具体而言,涉及一种过滤装置和晶体生长设备。过滤装置包括过滤管和过滤件;过滤管的第一端设有第一开口,过滤管的第二端设有第二开口,过滤管内设有过滤区,过滤区位于第一开口与第二开口之间,过滤区具有入口和出口,入口朝向过...
该专利属于湖南三安半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南三安半导体有限责任公司授权不得商用。

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