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一种四氯化硅低温处理工艺制造技术
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下载一种四氯化硅低温处理工艺的技术资料
文档序号:4132315
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本发明为一种四氯化硅低温处理工艺,过程为:将四氯化硅和水导入到反应釜水解反应,将产生的HCl气体进行过滤,除去其中的杂质,得到高纯度HCl气体并进行回收,得到稀盐酸,将稀盐酸出厂销售。将反应釜中所产生的H4SiO4进行固液分离,获得H2Si...
该专利属于邵家蓉所有,仅供学习研究参考,未经过邵家蓉授权不得商用。
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