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本发明提供一种用于半导体设备中的自动聚焦方法，包括：获取设备的离焦关系标定曲线；获取运动台的初始状态信息；朝向高度零点位置移动所述运动台若干次，记录每次移动后的当前状态信息；在在所有的状态信息中选取位于离焦标定曲线的线性区域的两个状态信息；...
该专利属于上海精积微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精积微半导体技术有限公司授权不得商用。

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