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本技术涉及半导体镀膜技术领域，且公开了一种便于清理的半导体镀膜设备，包括工作台和镀膜箱，工作台上固定连接有两个限位框，两个限位框的内腔均固定连接有限位杆，两个限位杆上均滑动连接有移动块，两个移动块相对的侧壁面上固定连接有收集壳，收集壳的底部...
该专利属于安合鑫光电科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安合鑫光电科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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