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一种LDMOS器件制造技术
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文档序号:41319655
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本发明公开一种LDMOS器件。本发明包括衬底、位于衬底内的漂移区和体区,以及位于衬底之上、且横跨漂移区和体区的第一栅极,还包括位于漂移区的场板中的第二栅极,用于降低漂移区的掺杂浓度,有助于耗尽区在横向方向上的扩展,同时调控靠近漏极一侧场板拐...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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