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一种用于测量围绕线位移方向微旋转角度的激光干涉系统，由激光源、偏振分光棱镜、两个四分之一波片、角隅棱镜、楔角棱镜、楔角反射镜、偏振器、光电检测器和相位计构成；激光源产生频率稳定的入射光束，同时给出一个稳定的参考信号源；入射光束在分光棱镜、四...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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