下载一种铁电电容器及其制备方法和铁电存储器的技术资料

文档序号:41318082

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本发明提供一种铁电电容器及其制备方法和铁电存储器,所述铁电电容器包括晶圆;所述晶圆设置有至少1个柱形孔;所述柱形孔内部由内壁依次在设置有阻隔层、下电极层、铁电薄膜层和上电极层;所述铁电薄膜层为HfO<subgt;2</subgt...
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