温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种电容器及其形成方法，其中，电容器包括：衬底，所述衬底包括中心区和边缘区，所述边缘区位于所述中心区两侧；位于所述衬底上的电互连层；位于所述中心区上的若干第一电极，各第一电极与电互连层电连接；位于所述边缘区上的若干第二电极，所述第二电极的宽...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。