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本发明公开了一种用于制备六甲基二硅氮烷过程中除水除杂的陶瓷复合装置及其制造方法，该陶瓷复合装置为内部空心的圆柱形，位于二甲基二甲氧基硅烷提纯装置的蒸馏管道系统内，所述陶瓷复合装置的外径与蒸馏出气管道内径形成密封匹配；陶瓷复合装置由中空的多孔...
该专利属于贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司授权不得商用。

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