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本发明涉及图像处理技术领域，具体涉及一种砷化镓衬底晶片缺陷智能检测方法，该方法包括：采集砷化镓衬底晶片图像和外延层图像；根据砷化镓衬底晶片图像获得边缘线、非直线边缘线和邻域非直线边缘密度；根据邻域非直线边缘密度获得缺陷区域；根据外延层图像获...
该专利属于浙江康鹏半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江康鹏半导体有限公司授权不得商用。

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