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本发明涉及芯片生产技术领域,尤其涉及一种芯片表面清理装置。本发明提供一种可升降放料的芯片表面清理装置。一种芯片表面清理装置,包括有超声波清洗机,还包括有清洗框、放置板、伺服电机、转轴、齿轮和齿条等,清洗框通过导向杆限位滑动于超声波清洗机内,...该专利属于吉安砺芯半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉安砺芯半导体有限责任公司授权不得商用。
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