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真空喷涂用于磁记录介质的润滑剂制造技术
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文档序号:4131581
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制造磁记录介质的处理设备,其包括腔室,微给料阀,其可打开的最小时间小于几微秒,并可在每次该微给料阀打开时,发放一微升或者更少量的液体,其中该包含润滑剂以及不同于该润滑剂的溶剂的液体通过该微给料阀发放。...
该专利属于希捷科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过希捷科技有限公司授权不得商用。
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