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本技术公开具有实时测温系统的化学机械抛光冷却装置，包括抛光盘、水冷盘、传动轴和传动齿轮；抛光盘与水冷盘通过螺栓密封固定；传动轴的一端穿过水冷盘与抛光盘，且分别与两者相固定；传动轴的另一端安装有传动齿轮；传动齿轮上啮合有从动齿轮，水冷盘上开有...
该专利属于嘉兴学院所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴学院授权不得商用。

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