具有实时测温系统的化学机械抛光冷却装置制造方法及图纸

本技术公开具有实时测温系统的化学机械抛光冷却装置，包括抛光盘、水冷盘、传动轴和传动齿轮；抛光盘与水冷盘通过螺栓密封固定；传动轴的一端穿过水冷盘与抛光盘，且分别与两者相固定；传动轴的另一端安装有传动齿轮；传动齿轮上啮合有从动齿轮，水冷盘上开有S型凹槽，S型凹槽内有冷却水；水冷盘的肋条上安装有温度传感器。本技术结构简单，在抛光盘密封安装水冷盘，水冷盘上的S型凹槽内的冷却水的循环，将抛光盘进行降温；温度传感器的实时测温，来调节凹槽内冷却水的输入量，使抛光盘维持在最佳的工作温度。水冷盘如发生故障，只需更换水冷盘即可。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学机械抛光，尤其涉及一种具有实时测温系统和冷却系统的化学机械抛光装置。

技术介绍

1、化学机械抛光机作为半导体行业原材料生产中常用的工具，尤其在研磨晶圆的生产中应用十分广泛。在化学机械抛光的过程中，其中抛光温度对抛光效果以及材料去除率有着直接的影响，在化学作用和物理摩擦作用下抛光温度逐渐升高，镜片与磨料、抛光垫间的动态压力增大；同时流体液膜会变薄，材料去除率增大，晶圆表面极易产生缺陷、划伤、弹性变形和应力损伤等表面缺陷，影响产品质量和产品合格率。针对化学机械抛光的冷却多采用水路冷却，在抛光盘上安装冷却水路，利用热交换原理将摩擦和化学腐蚀产生的热量带走。

2、如专利号202321278954.x，名称为一种内置冷却盘管的抛光盘，在盘体预埋有用于盛装冷却介质的冷却盘管，冷却盘管呈盘旋状布置；盘体内的冷却盘管有两根，相交错的设置于盘体内，同时这两个冷却盘中的冷却介质流向相板。冷却盘管与盘体的一体化，如果冷却盘管破损或是发生问题，需要更换整个抛光盘。

技术实现思路

1、基于上述说明，本技术提出本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.具有实时测温系统的化学机械抛光冷却装置，其特征在于：包括抛光盘、水冷盘、传动轴和传动齿轮；所述的抛光盘与水冷盘通过螺栓相固定；所述的传动轴的一端穿过水冷盘与抛光盘，且分别与两者相固定；传动轴的另一端安装有传动齿轮；传动齿轮上啮合有从动齿轮，从动齿轮通过减速器的各级齿轮将电机输入的电能转化为机械能；

2.根据权利要求1所述的具有实时测温系统的化学机械抛光冷却装置，其特征在于所述的同一圆心的凹槽的深度从水冷盘的中心起以2°的坡度向水路末端变深。

3.根据权利要求1所述的具有实时测温系统的化学机械抛光冷却装置，其特征在于所述的水冷盘和抛光盘上分别内嵌一条的O型硅胶圈...

【技术特征摘要】

1.具有实时测温系统的化学机械抛光冷却装置，其特征在于：包括抛光盘、水冷盘、传动轴和传动齿轮；所述的抛光盘与水冷盘通过螺栓相固定；所述的传动轴的一端穿过水冷盘与抛光盘，且分别与两者相固定；传动轴的另一端安装有传动齿轮；传动齿轮上啮合有从动齿轮，从动齿轮通过减速器的各级齿轮将电机输入的电能转化为机械...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡红生，沈宇，茹翼飞，
申请(专利权)人：嘉兴学院，
类型：新型
国别省市：