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本发明涉及门组件及包括其的基板处理装置，更详细地说，涉及一种可以稳定驱动的门组件及包括其的基板处理装置。本发明作为被设置到形成运入及运出基板的开口部的工艺腔室而开闭所述开口部的门组件，包括：门主体部，可移动地设置在所述工艺腔室前方；门部，相...
该专利属于圆益IPS股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过圆益IPS股份有限公司授权不得商用。

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