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提供了一种基板传送单元。基板传送单元包括：轨道部件，具有水平方向上的长度；竖直部件，沿着轨道部件移动，引导传送基板的机器人的竖直移动，并且在竖直部件中形成有第一流动路径，其中流体被引入到第一流动路径中并穿过第一流动路径；主管道部件，具有形成...
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