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本技术公开了一种散热装置及散热系统，散热装置包括底座和冷却件，底座上开设有至少一放置部，任一放置部内适于放置晶圆，且放置部与晶圆一一对应设置；冷却件设置在底座上，冷却件具有流通通道以及与流通通道连通的介质入口和介质出口，流通通道适于通入冷却...
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