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具有中孔GaN DBR的中孔GaN基LED的制备方法技术
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下载具有中孔GaN DBR的中孔GaN基LED的制备方法的技术资料
文档序号:41310237
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本发明公开了具有中孔GaN DBR的中孔GaN基LED的制备方法,采用有机金属化学气相沉积技术在衬底上依次外延生长GaN缓冲层、u‑GaN/n‑GaN周期性结构、GaN基超晶格和多量子阱层,得到GaN基MQW结构;在电解液中,对所述GaN基...
该专利属于西安工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安工程大学授权不得商用。
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