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本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种电子级硅料清洗装置及方法，包括第一酸洗槽、第二酸洗槽、第三酸洗槽和精馏装置，精馏装置将分离后的硝酸返回第一酸洗槽，氢氟酸和水流入第二酸洗槽，精馏装置对第一酸洗槽内酸液的分离和循环，第一检测装置对第一...
该专利属于江苏鑫华半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鑫华半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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