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本申请涉及半导体加工技术领域，提供了一种工艺管，包括内管、外管和螺旋件，内管的一端密封设置并设有两侧贯通的流道孔；外管固定设置于内管外周侧，外管靠近流道孔的一端密封设置，外管的另一端通过密封结构与内管相连接；内管和外管之间形成有气体流道，螺...
该专利属于北京凯德石英股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京凯德石英股份有限公司授权不得商用。

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