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本发明涉及分析仪器技术领域，并公开了一种低压高功率三维可调He微波诱导等离子体离子源，包括壳体、真空波纹管、微波发生器以及双层炬管，壳体设有具有第一开口和第二开口的容设腔，第一开口和第二开口相对设置，真空波纹管靠近壳体的端部设有调节组件，调...
该专利属于中国地质大学（武汉）所有，仅供学习研究参考，未经过中国地质大学（武汉）授权不得商用。

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