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一种碱金属铌酸盐溅射用陶瓷靶材及其制备方法技术
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文档序号:41301647
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一种碱金属铌酸盐溅射用陶瓷靶材及其制备方法,所述陶瓷靶材的化学组成为(AxBy)NbO<subgt;3</subgt;,其中0≤x≤1,0≤y≤1,x+y≥1;原料包括无机酸盐A、无机酸盐B及铌金属氧化物;其中,无机酸盐A占原料...
该专利属于陕西唐凤领航新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过陕西唐凤领航新材料科技有限公司授权不得商用。
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