下载光束均匀性检测系统和光束均匀性检测方法的技术资料

文档序号:41299522

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本发明涉及光学技术领域,并公开一种光束均匀性检测系统和光束均匀性检测方法,所述光束均匀性检测系统包括光分割模块、光切换模块以及光采集模块,所述光分割模块用于将待测准直光束分割为多个子光束,并位于所述待测准直光束的传播路径;所述光切换模块与所...
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