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一种Cr2AlC涂层及其制备方法和应用技术
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文档序号:41298256
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本发明公开了一种Cr<subgt;2</subgt;AlC涂层及其制备方法和应用。所述制备方法包括以下步骤:采用磁控溅射分别依次将金属Cr靶、石墨靶和金属Al靶沉积在衬底上,形成由Cr层、C层和Al层组成的依次重叠的重复单元,按...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。
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