下载一种Cr2AlC涂层及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:41298256

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本发明公开了一种Cr<subgt;2</subgt;AlC涂层及其制备方法和应用。所述制备方法包括以下步骤:采用磁控溅射分别依次将金属Cr靶、石墨靶和金属Al靶沉积在衬底上,形成由Cr层、C层和Al层组成的依次重叠的重复单元,按...
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