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本发明公开了一种晶圆载具及其控制方法、晶圆处理设备，其中晶圆载具包括环形吸盘及升降吸附组件。环形吸盘具有吸附面，升降吸附组件包括吸附部及升降部。吸附部包括多个吸附组件，多个吸附组件围绕环形吸盘的外围间隔设置，升降部与吸附部固定连接，并能带动...
该专利属于睿励科学仪器（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器（上海）有限公司授权不得商用。

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