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下载传送工具的技术资料

文档序号:4129211

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一种传送工具包括:第一支撑架,被安转以使之能沿半导体器件处理器的传送工具导轨移动;一对第二支撑架,以一间隙与第一支撑架相连接,并具有多个拾取半导体器件、之间有间隙的拾取器;以及竖直间隙控制器,通过移动一对第二支撑架控制一对第二支撑架的间隙,...
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